牟田 浩司（ムタ ヒロシ）
MUTA Hiroshi
| 職名 | 准教授 |
|---|---|
| 学科 | 機械工学科 |
| コース | 機械コース |
研究概要
- 薄膜太陽電池用プラズマ装置開発
低コスト化を意識した、低電力で高品質のシリコン薄膜を高速かつ大面積均一に製膜できるプラズマ装置の開発を行っています。
- 反応性プラズマ中のプラズマパラメータ計測システムの開発
プラズマプロセスのモニタリング用に、反応性プラズマパラメータの空間分布を短時間に精度良く計測できる実用的な計測システムの開発を行っています。
- ビームプロセスの最適化
イオンビームやニュートラルビームの効率的な生成法、さらにビームを高精度に制御して、新たな材料プロセスに適用する研究を行っています。
- プラズマシミュレーションの開発
複雑なガス流れに対応でき、実験結果の解釈や装置設計に使えるレベルのプラズマの数値シミュレーションコード開発を行っています。力学、電磁気学、プログラミングのトレーニングにも適しています。
 |
 |
| 図1 実験装置 | 図2 製膜結果例 |
研究キーワード
-
詳細ページ
