2026年9月24日
受賞名 : 2026年度精密工学会春季大会学術講演会 ベストプレゼンテーション賞
受賞者 : 高橋 広大(工学研究科(博士課程) 工学専攻 2年)
発表題目: ウルトラファインバブル援用スラリーを用いた高効率CMPの研究
関連ウェブサイト:https://www.jstage.jst.go.jp/article/pscjspe/2026S/0/2026S_379/_article/-char/ja