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柏倉 伸男(カシワグラ ノブオ)

柏倉 伸男(カシワグラ ノブオ)
KASHIWAGURA Nobuo
職名 准教授    
学科 電気電子・情報工学科
コース 応用物理コース    

研究概要

○ 透明導電性酸化物薄膜: 太陽光発電セル、液晶モニター、タッチパネルなどでは素子を駆動する電極として透明導電性酸化物薄膜が用いられる。これは良好な電気伝導を持ちながら可視光・近赤外領域で透明であるという通常では相反する特性を併せ持つ半導体材料である。現在この材料としてはIndium Tin Oxide (ITO) が主流であるがInは希少材料であり供給量に不確定要素がつきまとうためInを用いない電極材料の開発が急がれている。当研究室ではRFスパッタ法等で基板上に堆積させたZnO薄膜(AlまたはGaを微量添加)を色々な手段(X線回折、SEM、EDX、XPS、透過率測定など)で測定・評価し、成膜条件と電気特性・光学特性との相関を調べ新材料・新製法の開発を行っている。
 
○ 半導体セラミックス材料: 種々のセラミックス材料を調合し高温炉で焼結し特性を評価する。例えば自律制御ヒーターとして使用されるPTCセラミックスは温度の上昇に伴い半導体から誘電体に相転移し抵抗率が数桁上昇するセラミックス材料である。調合材料、組成、添加物の種類と量、焼成条件等を変化させ物性評価を行い半導体セラミックスの性能向上を目指す。

研究キーワード

回折結晶学   透明導電性酸化物   半導体セラミックス 

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